露光機


当社は、アライメントなしで使用できる、片面アライメントまたは自動アライメント露光、および両面アライメント露光が可能な、簡易、手動、半自動、および全自動のウエハ露光機を販売しています。
各種パワー水銀ランプやUV LED光源との組み合わせも可能です。詳細な仕様についてはお問い合わせください。