桌上型 8吋 旋轉型塗佈機
•機台預估尺寸 : 800mm(W) x 600mm(D) x 480mm(H)
•主體材質 : 美製PP板10mmT。
•機身骨架： SUS304方鋼鋼構設計。
•機身結構防振設計，可抑制基板旋轉時機身振動。
•盆罩 : PP材質，附上蓋。
•可塗佈基板範圍(需搭配適合真空吸盤) : 2吋-8吋Wafer。
•塗佈方式 : 手動塗佈 (手動放片/手動下料)。
•馬達：旋轉伺服馬達。
•塗佈轉速(2-6吋晶圓) : 10-8,000 RPM (± 3 RPM)。
•塗佈轉速(8吋晶圓) : 10-5,000 RPM (± 3 RPM)。
•加速度控制：加速時間2 Sec Min.。
•轉速設定 :每一記憶參數內可設定10段不同轉速。
• 時間設定 : 0-999.9sec。
•操控方式 : 8吋觸控式面板圖形介面手動輸入。
•電控與製程參數管理：PLC控制(三菱)。
•儲存塗佈參數：20組。
•塗料種類 : 光阻。
•真空幫浦：一套 (標配)。
•真空吸盤規格 : 1/2吋與1寸吸盤各一組 (標配)、4吋真空吸盤一組。
•8吋基板手動對位治具一組。
•真空檢知 : 有 (可數位設定真空值下限保護)。
•異常監測：可顯示異常檢出訊息。
•自動光阻供料手臂模組(選配)：含光阻供料Nozzle與自動旋轉手臂、可供應
一種光阻、300ml光阻PP壓力桶、控制氣動閥件與相關PFA藥液管路、噴塗
區抽氣外罩。
• 電源 : 單相 220V。